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XGTP311-50336-1
SMC Corporation
고진공 기기
슬릿 밸브
XGTP For 300 mm wafer Parallel Seal Type Slit Valve
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{smc_jp/high_vacuum_equipmpent/slit_valve/xgtp/xgtp_asmtab.prj},{NB=XGTP311-50336-1(1_0)},{TYPE=1},{MAT=1},{SWITCH=},{LOCK=},{POS=1},{THREAD=0},{PPATH=xgtp/assembly/xgtp_asmsbl.prj}
기술적 기준에 따라 원하는 제품을 선택하십시오. 선택할 수 있는 속성은 테이블 아이콘으로 표시됩니다. 선택은 테이블의 아이콘이나 값에 따라 재설정 됩니다.
사용 가능한 제품: 1
HELP_VARIABLE
회사명
SMC Corporation
내용
XGTP - For 300 mm wafer Parallel Seal Type Slit Valve
BOM
XGTP311-50336-1
TYPE
Valve type
(1) Insert type (Without body)
(2) Cassette type (Standard)
(3) Cassette type (Half MESK)
(1) Insert type (Without body)
(2) Cassette type (Standard)
(3) Cassette type (Half MESK)
MAT
Gate seal material
(1) FKM
(2) Kalrze 4079
(1) FKM
(2) Kalrze 4079
SWITCH
Auto switch and the connector
(-) None
(A) D-A93,Without connector,Lead wire: 0.5 m,Operating temperature range: 20℃ to 60℃
(C) D-A93,Multiple connertor(AMP),Operating temperature range: 20℃ to 60℃
(F) D-A93,D-sub connector,Operating temperature range: 20℃ to 60℃
(-) None
(A) D-A93,Without connector,Lead wire: 0.5 m,Operating temperature range: 20℃ to 60℃
(C) D-A93,Multiple connertor(AMP),Operating temperature range: 20℃ to 60℃
(F) D-A93,D-sub connector,Operating temperature range: 20℃ to 60℃
LOCK
End lock
(-) OPEN/CLOSE end lock
(N) None
(-) OPEN/CLOSE end lock
(N) None
POS
Gate position
Gate open
Gate clamped
Gate open
Gate clamped
THREAD
Thread on/off
on
off
on
off