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XGTP311-50336-1

  1. SMC (JP)
  3. High Vacuum Equipment
  5. Slit Valve
  7. XGTP For 300 mm wafer Parallel Seal Type Slit Valve
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HELP_VARIABLE
Firma
SMC (JP)
Beschreibung
XGTP - For 300 mm wafer Parallel Seal Type Slit Valve
Stückliste
XGTP311-50336-1
TYPE
Valve type
MAT
Gate seal material
SWITCH
Auto switch and the connector
LOCK
End lock
POS
Gate position
THREAD
Thread on/off