XYPPG - 透過穴型 XY軸ステージ - Misumi

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会社名

Misumi

説明

XYPPG - 透過穴型 XY軸ステージ

部品表

XYPPG100

PN

型番

XYPPG100

MAT

材質

アルミ合金

ST

表面処理

黒アルマイト

AC

付属品 (Type M-L)

SCB4-14 (4 本)

NO

No.

100

STG

ステージ面

100x100

mm

DIST

移動量

+/-12.5

mm

MR

最小読取

10

microns/Scale

AL

耐荷重

63.7 {6.5}

N{kgf}

S

移動精度 - 真直度

3

microns

P

移動精度 - ピッチング(秒)

25

Y

移動精度 - ヨーイング(秒)

15

MLRP

許容モーメン-ピッチング

4.6

N*m

MLRY

許容モーメン-ピッチング

3.9

N*m

MLRR

許容モーメン-ピッチング

4.6

N*m

MRP

モーメント剛性 - ピッチング

0.07

arcsec/N*cm

MRY

モーメント剛性 - ヨーイング

0.08

arcsec/N*cm

MRR

モーメント剛性 - ローリング

0.10

arcsec/N*cm

TARE

自重

1

kg

ALT1

マイクロメータ位置