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HELP_VARIABLE
会社名
Misumi
説明
XYSPG - クロスローラ式 薄型XY軸ステージ
部品表
XYSPG60
PN
型番
MAT
材質
アルミ合金
ST
表面処理
黒アルマイト
AC
付属品 (Type M-L)
NO
No.
STG
ステージ面
mm
DIST
移動量
mm
MR
最小読取
10 microns/Scale
AL
耐荷重
N{kgf}
S
移動精度 - 真直度
3 microns
P
移動精度 - ピッチング(秒)
40
Y
移動精度 - ヨーイング(秒)
20
MLRP
許容モーメン-ピッチング
N*m
MLRY
許容モーメン-ピッチング
N*m
MLRR
許容モーメン-ピッチング
N*m
MRP
モーメント剛性 - ピッチング
arcsec/N*cm
MRY
モーメント剛性 - ヨーイング
arcsec/N*cm
MRR
モーメント剛性 - ローリング
arcsec/N*cm
TARE
自重
kg
ALT1
マイクロメータ位置